新聞總在發(fā)生 焦點(diǎn)各有不同
近年來,中美兩國(guó)之間的摩擦多次見諸報(bào)端,尤其在進(jìn)出口貿(mào)易、5G等領(lǐng)域爭(zhēng)鋒相對(duì)。在5G領(lǐng)域中,華為的技術(shù)突破讓其成為眾矢之的。美國(guó)意圖通過政治手段打壓中國(guó)在5G領(lǐng)域的領(lǐng)先地位,也不甘把4G時(shí)代的霸主地位拱手相讓。類似的事件在歷史上曾多次出現(xiàn),結(jié)果卻是迎來了自有技術(shù)的蓬勃發(fā)展。中國(guó)沒有垮掉,反而一次一次突破了封鎖。除了手機(jī)芯片外,中國(guó)在工業(yè)級(jí)別芯片上的進(jìn)步也是有目共睹的,這也得益于中國(guó)持續(xù)不斷的對(duì)于芯片產(chǎn)業(yè)的規(guī)劃和投入。
在整個(gè)芯片制造中,晶圓是芯片的重要原材料,航天智造(上海)科技有限責(zé)任公司(以下簡(jiǎn)稱航天智造)從單晶硅生產(chǎn)流程中的物流上下料方向進(jìn)行拓展,目前已應(yīng)用單晶硅截取下料agv、單晶硅取晶車。
同時(shí),航天智造著力從韓國(guó)引入三星供應(yīng)鏈晶圓生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù),結(jié)合上海交通大學(xué)、南京航空航天大學(xué)進(jìn)行產(chǎn)學(xué)研的應(yīng)用,對(duì)加速我司對(duì)第三代半導(dǎo)體材料及器件研發(fā)和相關(guān)產(chǎn)業(yè)發(fā)展具有重要意義,利用自身在物流、裝配、檢測(cè)、控制、清洗等領(lǐng)域的工程經(jīng)驗(yàn)進(jìn)行拓展性的分析和研究總結(jié)出了幾款涉及多個(gè)生產(chǎn)步驟的工藝設(shè)備,聚焦晶圓生產(chǎn)關(guān)鍵技術(shù),把握第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展機(jī)遇。
單晶硅拉晶生產(chǎn)流程
單晶原料清洗
類型:高壓沖水型、超聲波型;
適用原料:邊皮、圓棒、尖頭等;
清洗產(chǎn)能:2T/h;
清洗質(zhì)量:無水漬、無白斑。
單晶原料破碎篩選
類型:破碎分選線,篩選機(jī);
適用原料:邊皮、圓棒、尖頭等;
用途:控制顆粒度。
自動(dòng)配料配送系統(tǒng)
類型:自動(dòng)配料系統(tǒng);
適用原料:破碎料,粉料等;
用途:精確控制各組分配比,通過AGV自動(dòng)送到對(duì)應(yīng)工位。
截?cái)嘞铝螦GV
類型:AGV;
適用原料:截?cái)嗪蟮亩塘稀?/span>
功能:尋棒找中、夾取、編碼、導(dǎo)航、調(diào)度、MES通信等,每車8根;
長(zhǎng)棒抓取方案
類型:半自動(dòng)型、AGV型;
適用原料:長(zhǎng)棒;
用途:提升、旋轉(zhuǎn)、夾抱、導(dǎo)航、調(diào)度、編碼功能、稱重等。
電性能檢測(cè)線
類型:檢測(cè)線;
適用原料:短棒等;
主要功能:讀碼、測(cè)長(zhǎng)、稱重、激光打碼、少子壽命檢測(cè)、電阻率檢測(cè)、不良判別與分揀、合格品分級(jí)、MES通信等。
開方上下料系統(tǒng)
類型:輸送系統(tǒng);
適用原料:圓棒,方棒等;
組成: 桁架式三坐標(biāo)機(jī)械手+緩存線+調(diào)度系統(tǒng);
用途:產(chǎn)品分級(jí)和定機(jī)臺(tái)配送、MES通信等。
磨倒上下料系統(tǒng)
類型:輸送系統(tǒng);
適用原料:圓棒,方棒等;
組成:AGV+桁架式三坐標(biāo)機(jī)械手+緩存線+調(diào)度系統(tǒng);
用途:產(chǎn)品分級(jí)和定機(jī)臺(tái)配送、MES通信等。
方棒成品檢測(cè)線
類型:外觀尺寸檢測(cè)線;
適用原料:成品單晶棒等;
用途:外形尺寸檢測(cè)精度0.01mm, MES通信;
節(jié)拍:優(yōu)于10S。
同時(shí),航天智造也針對(duì)單晶硅生產(chǎn)領(lǐng)域中系統(tǒng)自動(dòng)化控制進(jìn)行改良更新,通過生產(chǎn)線現(xiàn)場(chǎng)增加監(jiān)測(cè)傳感器,利用高頻數(shù)采專用網(wǎng)關(guān),將大量現(xiàn)場(chǎng)過程數(shù)據(jù)、環(huán)境數(shù)據(jù)采集到控制平臺(tái),現(xiàn)場(chǎng)工程師根據(jù)工藝特點(diǎn),創(chuàng)新開發(fā)出各種提升現(xiàn)場(chǎng)效率、質(zhì)量、設(shè)備預(yù)測(cè)的算法模型,模型經(jīng)過現(xiàn)場(chǎng)訓(xùn)練和驗(yàn)證,有效提升品質(zhì)、降低不良、停機(jī)導(dǎo)致的損失。航天智造將持續(xù)助力半導(dǎo)體行業(yè)晶圓生產(chǎn),為半導(dǎo)體行業(yè)的蓬勃發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
相關(guān)推薦
喜訊|航天智造榮獲2019年度松江區(qū)專利工作試點(diǎn)企業(yè) 航天智造——單晶硅加工線柔性輸送系統(tǒng) 航天智造祝賀“嫦娥五號(hào)”成功發(fā)射 航天智造5月新聞動(dòng)態(tài) 航天智造3月新聞動(dòng)態(tài) 航天智造10月新聞動(dòng)態(tài) 中國(guó)航天日 | 航天智造,點(diǎn)亮星辰大海的征途 航天智造麥輪移載系統(tǒng) 祝賀航天智造成功入選《上海市智能制造系統(tǒng)解決方案供應(yīng)商推薦目錄》 喜報(bào)!航天智造榮獲雙年度中國(guó)移動(dòng)機(jī)器人創(chuàng)新產(chǎn)品及創(chuàng)新應(yīng)用獎(jiǎng)